株式会社ユニロック

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技術解説

除振についてのプロローグ

電子顕微鏡ナノメートルという1メートルの十億分の一の小さな領域を観察できる装置です。ですから一般の事務所では人には感じない振動が、電子顕微鏡には影響し像障害を引き起こすことが多々あります。特に水平方向の振動に電子顕微鏡は影響されます。

電子顕微鏡用除振台は人には感じない1μm(=1メートルの百万分の一)の水平方向の振動を効果的に低減するために開発されました。

除振したい部分(鏡体)を支持する除振マウントおよび、より効果的に除振するための電子顕微鏡全体を搭載する除振台。これらはいずれも同じ除振の考え方で作られています。

この除振方式を解説するにあたり、

振動のこと除振とは?電子顕微鏡の除振除振機器に必要なこと、などを順に説明します。

解説を読む前に、下の除振台効果を体験してください。

除振台効果のデモンストレーション


振動は、ある量が時間に対して繰り返し変化する現象です。身近にある振動現象には、振り子地震などがあります。

1.身近な例(電車で本を読むには・・・)2.もっと詳しい説明3.電子顕微鏡の場合

除振」に関連して、「防振」、「制振」、「免震」などの業界用語があります。これらの業界用語をどのように使い分けているかを説明しています。

1.防振と除振2.除振の考え方3.除振と制振4.除振と免震

振動の大きい床に直に電子顕微鏡を設置すると像ブレが発生するため、除振台電子顕微鏡の下に入れて装置を除振することで像障害が起きない状態にできます。このように書くと、除振台は床の振動を吸収して全く電子顕微鏡には伝えない電気の絶縁体のようなものと思われがちですが、そうではありません。

振動(力)を伝えたくないモノ→電子顕微鏡でいえば鏡体部(ステージ、電子銃、検出器)をやわらかいバネで支持し、鏡体部の揺れ方をゆっくりとしたシンプルな揺れにして、床から入ってくる高い周波数の振動を低い周波数に変換することで、鏡体に伝わる力(加速度)を小さくすることが除振台の使命です。

1.除振方式の理論

電子顕微鏡除振機器に必要なこととして、以下の3点があげられます。

1) 特に水平方向に対し、単一の固有振動数振動エネルギ-を集中する構造にすること。
2) その固有振動数をなるべく低くすることで、より高い周波数の振動低減する。
3) 適度な減衰定数を与えることで共振倍率を抑制できること。

1.除振機器の選定2.除振機器の実施例

アクティブ除振台  加速度  機械振動  共振周波数  空気ばね  空気バネ  減衰調整  固有振動数  光学実験台  除振  除振技術  除振装置  除振台  振動  振動解析
振動加速度  振動共振  振動計測  振動減衰  振動試験  振動シミュレーション  振動周波数  振動障害  振動制御装置  振動測定  振動対策  振動低減  振動防止
振動問題  制振  制振技術  像障害  卓上除振台  単振動  低周波振動  電子顕微鏡  ばね固有振動数  防音  防振  防振ばね  防振バネ  防振マウント  防振架台
防振器  防振床  防振装置  防振対策  防振台  防振動  レーザー顕微鏡
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